人民網(wǎng)北京9月15日電 （方經(jīng)綸）據(jù)工業(yè)和信息化部官網(wǎng)消息，為促進(jìn)首臺（套）重大技術(shù)裝備創(chuàng)新發(fā)展和推廣應(yīng)用，加強產(chǎn)業(yè)、財政、金融、科技等國家支持政策的協(xié)同，工業(yè)和信息化部近日印發(fā)《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》（以下簡稱《指導(dǎo)目錄》），其中在電子專用裝備目錄下，“集成電路生產(chǎn)裝備”包括氟化氬光刻機，光源193納米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
按照市場監(jiān)管總局等5部門于今年4月聯(lián)合印發(fā)的《中國首臺（套）重大技術(shù)裝備檢測評定管理辦法（試行）》，重大技術(shù)裝備是國之重器，事關(guān)綜合國力和國家安全。中國首臺（套）重大技術(shù)裝備，是指國內(nèi)實現(xiàn)重大技術(shù)突破、擁有知識產(chǎn)權(quán)、尚未取得明顯市場業(yè)績的裝備產(chǎn)品，包括整機設(shè)備、核心系統(tǒng)和關(guān)鍵零部件等。
《首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2024年版）》截圖。